當電子通過真空容器中的稀薄氣體時，就會和氣體分子碰撞.當電子能量小時，碰撞后只改變兩者的運動速度和方向。當電子具有足夠大的能量，大于氣體電離電位時，電子高速運動和氣體分子碰撞，使氣體分子電離，所產生的正離子數與氣體的密度成正比.而壓強p=nKT在某一溫度下，n和p成正比。如能測量電離產生離子流的大小，就可接地測量了真空度。
電離真空計就是根據這個原理制成的。如果高速電子是由加熱陰極發射出來，就稱為熱陰極電離真空計.
熱陰極電離計測量電路由以下三部分組成。
①離子流放大器。
②發射電流穩定器。
③電壓穩定器，以保持規管參數的穩定。
熱陰極電離計的特點是:可測氣體和蒸氣壓強能遠距離連續測量，真空度愈高，靈敏度愈
高。但讀數與氣體種類有關，陰極在測量壓強低于10-3Pa時易燒毀。
為了使用方便，目前有復合真空計，它將熱偶計和電離計測量部分組裝在一起，但使用時
仍是各自獨立。
