對于一般的擴散泵,泵體多做成直筒型;對于大型泵,也有用錐筒形或凸腔形泵體。由于圓筒形泵體便于加工，所以目前應用較多。

泵口直徑D<250mm的泵體用無縫鋼管做成；大泵的泵體用4~10mm厚的鋼板卷成圓筒焊接而成，焊縫不能漏氣。泵內壁應拋光鍍鎳。

凸腔泵體可以在不增加泵口尺寸的情況下，使抽速得到較大的提高。凸腔泵體是將直筒形泵體改變成局部鼓形凸腔泵體。加工方法

仍是用鋼板焊接而成。泵的底部截面與泵法蘭入口直徑仍相同，只是泵體在入口法蘭的下部擴大泵腔，擴大的直徑延伸都第2級噴嘴

射流直射到的泵壁處。由于泵體凸腔，擴大了抽氣作用空間，增大了第一、二級噴嘴間通導能力，也就提高了抽速。

超高真空泵油也是很重要的問題。不適當的泵壁表面溫度，使碰撞在擴散泵內表面的油蒸氣分子不易凝聚，沿泵壁向下流的油層表

面溫度比泵壁溫度高的較多，易于產生再蒸發，形成油蒸氣返流。所以泵壁冷卻效率要高。一般在泵壁外面焊上螺旋形銅管或做成

水套形式（也可在水套中間裝上螺旋形鋼絲）。泵冷卻部位通常只限于蒸氣流能噴射到的區域，這樣可以使從上面冷凝下來的油在

回到油鍋前受到較高的熱度，使溶解在油中的氣體放出，避免它再混入油蒸氣中進入各級噴嘴，影響泵的真空度。